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用什么方法可以鑒別晶體管等半導(dǎo)體設(shè)備中的不同物質(zhì)

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問 提問者：網(wǎng)友 2017-01-27
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半導(dǎo)體設(shè)備中紅外激活物質(zhì)會(huì)發(fā)出特征性近場(chǎng)光譜信號(hào)。通過這些信號(hào)就可以鑒別不同的物質(zhì)了。這些信號(hào)的捕捉需要散射式掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡來實(shí)現(xiàn)?，F(xiàn)在市面上唯一一臺(tái)分辨率可以達(dá)到10nm的散射式掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡（s-SNOM）是由德國(guó)生產(chǎn)的。 相關(guān)的文獻(xiàn)A.J.Huber等在2010年的Nanotech上有過發(fā)表的“Infrared spectroscopic near-field mapping of single nanotransistors”。 除了鑒別物質(zhì)外，散射式掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡還可以用與研究化學(xué)組成、晶體結(jié)構(gòu)、機(jī)械張力、輻射損傷、載流子濃度，遷移率、電場(chǎng)分布等，應(yīng)用領(lǐng)域包括極性晶體、半導(dǎo)體納米設(shè)備、超材料和納米天線、納米線和納米顆粒、聚合物和蛋白質(zhì)等。 參考網(wǎng)站：百度上搜索“上海沃埃得貿(mào)易有限公司”
回答者：網(wǎng)友
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